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Descripción
El perfilómetro de superficia Dektak 150 se ostenta como el equipo con el mejor desempeño de la industria, la mejor repetibilidad, y el rango estándar más grande de barridos para las áreas tanto de investigación como de producción.
Combinando tres décadas de innovación en tecnología de perfilometría de punta, el Dektak 150 ofrece una variedad de configuraciones para satisfacer las necesidades de sus aplicaciones.
El marco de aluminio y los elementos rígidos mejoran dramáticamente la repetibilidad y reducen el nivel de ruido. Las funciones de análisis se controlan fácilmente a través de amigable interfaz de Windows® XP. Igualmente ofrece características que le permiten operar el equipo de manera intuitiva y repetible.
Las capacidades y las características avanzadas están disponibles por medio de paquetes específicos.
Especificaciones:
* Sensor de baja inercia (LIS), que mejora la repetibilidad de las mediciones.
* Fuerza programable que se aplica a la punta tan pequeñas como 1 mg, lo que permite visualizar muestras suaves.
* Rango vertical de hasta 524 micras (1 mm opcional), que permite la medición de escalones para aplicaciones MEMS.
* Puntas exclusivas con High Aspect Ratio, que permite seguir la profundidad de pozos.
Opciones:
Desempeño
* Rango vertical extendido de 1 mm.
Aplicaciones
* Software de Medición de Estrés.
* Software para detección de escalones.
Estándares de calibración
* Medición nominal de 20 nm.
* Medición nominal de 50 nm.
* Medición nominal de 100 nm.
* Medición nominal de 200 nm.
* Medición nominal de 500 nm.
* Medición nominal de 1 um.
* Medición nominal de 5 um.
* Medición nominal de 10 um.
Stylus
* Radio de curvatura de 25 um.
* Radio de curvatura de 12.5um.
* Radio de curvatura de 5 um.
* Radio de curvatura de 2.5 um.
* Radio de curvatura de 0.7 um.
* Radio de curvatura de 0.2 um.
Stylus de High Aspect Ratio
* 10 um de profundidad en el paso y 2 um de ancho.
* 200 um de profundidad en el paso y 20 um de ancho.
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