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Descripción
Los perfilómetros de contacto de Dektak son productos lideres en la industria debido a su innovación y tecnología de más de 35 años. El nuevo perfilómetro de superficie Dektak® 8P de Veeco caracteriza con toda exactitud películas delgadas, rugosidad, estrés, y defectos de muestras de hasta 200 mm (8 pulgadas). Le caracteriza una tecnología donde la punta ejerce una pequeña fuerza , capacidad de barridos grandes, y el software de análisis de datos líder en la industria, el Dektak 8 ofrece un desempeño superior con una configuración base.
Especificaciones:
* Precisión líder de la industria, 7.5 angstrom repetibilidad 1 sigma.
* Perfilometría de superficie en tres dimensiones con el software de análisis Vision®32 para caracterizar rugosidad de películas, forma y estrés en tercera dimensión real (1).
* Sensor de tecnología de baja fuerza, que permite visualizar materiales suaves, sin dañarlas.
* Puntas super afiladas y de high aspect ratio (2), con geometrías avanzadas para pozos profundos y materialfes suaves.
(1) (2) Capacidades opcionales.
Opciones:
Desempeño
* Sensor de Baja Fuerza N-Lite.
* Rango vertical extendido de 1 mm.
* Opción para muestras de hasta 3 pulgadas de altura.
* Platina programable y motorizada.
Aplicaciones
* Software de Medición de Estrés.
* Vision®32.
Estándares de calibración
* Medición nominal de 20 nm.
* Medición nominal de 50 nm.
* Medición nominal de 100 nm.
* Medición nominal de 200 nm.
* Medición nominal de 500 nm.
* Medición nominal de 1 um.
* Medición nominal de 5 um.
* Medición nominal de 10 um.
Stylus
* Radio de curvatura de 25 um.
* Radio de curvatura de 12.5um.
* Radio de curvatura de 5 um.
* Radio de curvatura de 2.5 um.
* Radio de curvatura de 0.7 um.
* Radio de curvatura de 0.2 um.
Stylus de High Aspect Ratio
* 10 um de profundidad en el paso y 2 um de ancho.
* 200 um de profundidad en el paso y 20 um de ancho.
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